科研試驗(yàn)用合金靶材：

1.銦合金靶材：銅銦鎵硒合金靶材CIGS,銅銦鎵合金靶材CIG,銅銦合金靶材CuIn,銦錫合金靶材InSn,銦銀合金靶材InAg,銦鈦合金靶材InTi,銦鎘合金靶材InCd,銦金合金InAu,銦鉛錫合金靶材InPbSn, 銦鉛鎘合金靶材InPbCd,銅錳銦合金靶材CuMnIn,金銀銦合金靶材AuAgIn,銅鋅錫硫合金靶材CuZnSnS等

2.鍺合金靶材：鍺碲合金靶材GeTe,鍺銻碲合金靶材GeTeSb,鍺銻合金靶材GeSb,鍺金合金靶材GeAu,鍺錳銅合金靶材GeMnCu,硅鍺合金靶材SiGe,鍺銅合金靶材GeCu,鈦鍺合金靶材TiGe,鍺鎵合金靶材GeGa,鍺鉍合金靶材GeBi等

3.鈦合金靶材：鈦鋁合金靶材TiAl,鈦鋁釩合金靶材TiAlV,鈦鎳合金靶材TiNi,鈦鉬合金靶材TiMo,鈦鈀合金靶材TiPd,鈦鉻合金靶材TiCr,鈦釩合金靶材TiV,鈦銅合金靶材TiCu,鈦鉬鎳合金TiMoNi等。

4.釩合金靶材：釩鈦合金VTi,釩鉻合金VCr,釩鋯合金靶材VZr,釩鉻鈦合金VCrTi,釩鎳合金VNi等。

5.鈮合金靶材：鈮鎳合金靶材NbNi,鈮鈦合金靶材NbTi,鈮鋯合金靶材NbZr,鈮鎢鋯合金靶材NbWZr等。

6.鉭合金靶材：鉭鉬合金靶材TaMo,鉭鎢合金靶材TaW,鉭鉿合金靶材TaHf,鉭鋯合金靶材TaZr,鉭鈮合金靶材TaNb,鉭鈦合金靶材TaTi,鉭鉻合金靶材TaCr,鉭釕合金靶材TaRu,鉭銥合金靶材TaIr等。

7.錸合金靶材：鎢錸合金靶材WRe,鉬錸合金靶材MoRe,鋯錸合金靶材ZrRe,鈦錸合金靶材TiRe,鉑錸合金靶材PtRe,銥錸合金靶材IrRe,鈀錸合金靶材PdRe,鎳錸合金靶材NiRe等。

8.鐵合金靶材：鐵錳合金靶材FeMn,鐵鈷合金靶材FeCo,鐵鎳合金靶材FeNi,鐵鈷硼合金靶材FeCoB,鐵鈷硼硅合金靶材FeCoBSi等

9.其他合金靶材：鋁合金靶材Al,銅合金靶材Cu,錫合金靶材,鋅合金靶材,鎂合金靶材,釕合金靶材Ru,鉑合金靶材Rt,鎢合金靶材W,鉬合金靶材Mo等。